電子光學系統(tǒng)包括電子槍、電磁透鏡、消像散器和掃描線圈等。其功能是產生一定能量的電子束、足夠大的電子束流、盡可能小的電子束直徑，產生一個穩(wěn)定的X 射線激發(fā)源。