面精度：面型精度采用精密拋光與理想平面的偏差量來表示。因為使用可以測量波面的干涉儀來測量，所以也被稱為反射波面精度。面型精度的干涉條紋數的單位是λ,λ是指干涉儀所使用的氦氖激光器的波長為 632.8nm。另外，表示面型精度有兩個參數:PV和 RMS 值。PV值是 Peak to Valley(峰值與谷值的差值)，RMS值是 Root MeanSquare(均方根值)。

表面質量：這是評估研磨或鍍膜后的表面缺陷的一個參數，通常用劃痕(scratch)和凹坑 (dig)兩種數值的組合來表述。

激光損傷閾值：當高功率的脈沖激光照射到光學元件時，可能會造成光學元件的膜層或玻璃材料的損傷。當光學元件開始遭到損傷時的激光能量密度(J/cm?)稱為激光損傷閾值。相關閱讀：如何計算濾光片的激光損傷閾值

P 偏光 S 偏光：當光線斜入射到玻璃表面時，其反射率會隨入射光線的偏光方向發生變化。在玻璃表面的法線和入射光束所構成的平面內振動的光波稱為P偏光，與P偏光正交方向振動的光波稱為S偏光。其他方向的偏振狀態可以認為是不同比例的 P 偏光和 S 偏光合成的結果。P 偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所決定，因為他們遵循的法則不同，所以P偏光和S偏光的反射率也是不同的。

光束偏轉角：在激光東光路中插入光學元件時，光東方向會發生偏轉，與原光東方向相比所偏轉的角度稱為光束偏轉角。光束偏轉角由光學元件的平行度和折射率決定。

偏心：以透鏡的外徑為基準，轉動透鏡時，如果是理想透鏡，透過光束或者聚光光束將不會變動;如果理想透鏡的光軸和透鏡外徑的中心軸存在角度偏差時，透過光束將按周圍軌跡運動。與轉動軸相比透過光束所擺的角度稱為偏心。